電子、光學精密制造生產車間作為對生產環(huán)境最為嚴苛的制造工業(yè)大類，涵蓋了半導體芯片（晶圓）、3C鋰電池、pack、CCL電路基材覆銅板、PCB印制電路板、液晶屏及LED等各產業(yè)領域。由于電子光學產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，對控制空間內的微粒和浮塵、環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲、威震、防靜電等參數(shù)都作出了嚴格的規(guī)定。以保證產品的精確度和合格率。所以除了智能化生產設備和人員管理因素以外，電子光學精密生產車間的建設就肩負著把控產品質量的重大責任。

       例如在半導體集成電路生產的光刻工序中，大型潔凈廠房中一般選用微環(huán)境，把加工工藝核心區(qū)隔離，在微環(huán)境的隔離區(qū)內做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定(相對溫度、相對濕度、壓力，十級、百級、千級潔凈區(qū))，以保障作業(yè)區(qū)域內產品免被污染。

 

以光電精密生產制造產業(yè)中萬級潔凈車間為例：

設計依據(jù)：

1、《潔凈廠房設計規(guī)范》（GB50073-2013）；

2、《電子工業(yè)沽凈廠房設計規(guī)范》 GB50472—2008

3、《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》 GB50591—2010

4、《采暖通風與空氣調節(jié)設計規(guī)范》（GBJ19-87）；

5、《通風與空調工程施工及驗收規(guī)范》（GB50243-97）；

6、《潔凈室施工及驗收規(guī)范》（GB50591-2010）；

7、《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》 JC/T869—2000

8、《建筑設計防火規(guī)范》 GB50016—2010

9、《潔凈廠房建筑構造》 08J907

以某公司提供的平面布置圖等有關技術參數(shù)要求（設計參數(shù)）：

1、萬級潔凈車間溫度要求20℃~25℃

2、濕度要求45%~65%
3、潔凈要求10000級

乙方設計參數(shù)指標為：（面積不同、室內人員配置不同等，參數(shù)指標也不同，如下僅供參考）

1、潔凈室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)。
2、潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
3、潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa 。
4、潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

       達到既定環(huán)境潔凈度是通過各種手段共同完成的，平面設計方案、裝修材料 、系統(tǒng)建設中的通排風系統(tǒng)、暖通空調系統(tǒng)、凈化設備儀器等環(huán)節(jié)共同為之服務。

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